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靶材真空噴涂生產線的技術核心及優勢
2023-11-28

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我公司專注于高溫難熔融材料的真空噴涂技術,打破技術壁壘和難題,自主研發出具有世界先進水平的靶材真空噴涂生產線,我公司生產的靶材,經國家有色金屬及電子材料分析測試中心檢測,各項指標均達到和超過世界高端靶材的水平;經國內多家知名鍍膜企業使用,反應良好。我公司靶材真空噴涂生產線和靶材產品具有如下技術核心與創新點:

一、技術核心:

1、 我公司采用了自主研發的超高溫、大功率等離子噴涂槍,更為有效的融熔了高溫難熔金屬、陶瓷粉末材料,焰流速更快,使靶材的晶界結合更致密、晶粒更細 、孔隙更少、密度更高。

2、 靶材制備過程始終處于“真空”環境,區別于國內所有靶材的大氣噴涂制備過程的常規技術,杜絕了氣相雜質的產生,使靶材的成分、純度得到有效保證。

3、 在靶材熱噴涂制備過程中,等離子槍焰流中科學配注了還原氣體,使材料在熱熔、冷卻過程中具備充分的還原性,保證材料的物化性質不發生改變。

4、 采用密閉循環水冷卻控制系統,使靶材在熱噴涂過程中,有效控制了靶材的溫度,噴涂完成后按設定要求梯度降溫,釋放了靶材的材質內部應力,消除了客戶在濺射制程中的靶材開裂隱患。

二、創新點

1、 靶材密度更高、晶粒更細、分布更混勻、內部孔隙率更少,用戶使用過程中消耗均勻、使用壽命同比延長、鍍膜膜層更加致密。

2、 靶材純度更純,氧、氮含量更低,保證了靶材材質的純正性,使用戶的濺射氣氛更加可控,確保了膜層的高品質。

3、 靶材材料內部內應力更小,杜絕了客戶在使用升溫過程中,靶材的開裂、掉渣、污染濺射真空腔的現象。

4、 導電率更均勻、更平穩,使客戶在濺射鍍膜過程中,靶材放電過程更加充分,保證了設備電流、電壓的穩定,杜絕了靶材中毒事故,鍍膜膜層更加均勻致密。


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